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大腔体器件气密性焊接技术研究
引用本文:欧昌银,李茂松,胡琼.大腔体器件气密性焊接技术研究[J].微电子学,2005,35(3):263-267.
作者姓名:欧昌银  李茂松  胡琼
作者单位:中国电子科技集团公司,第二十四研究所,重庆,400060
摘    要:阐述了大腔体器件的储能焊焊接技术,讨论了焊接基本要素,建立了焊接能量模型。分析了影响气密性的主要因素,通过改进焊接技术和优化工艺参数,解决了大腔体器件的气密性焊接技术问题。目前,大腔体器件(150—200mm周长,对角线≤70mm)气密性焊接的成品率已达到93%。

关 键 词:电阻焊  大腔体器件  储能焊  气密性  封装
文章编号:1004-3365(2005)03-0263-05

Hermetical Welding for Large Cavity Devices
OU Chang-yin,LI Mao-song,Hu Qiong.Hermetical Welding for Large Cavity Devices[J].Microelectronics,2005,35(3):263-267.
Authors:OU Chang-yin  LI Mao-song  Hu Qiong
Abstract:
Keywords:Resistance welding  Large cavity device  Stored energy welding  Hermeticity  Packaging
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