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| 3B1束线上LIGA掩模的设计研究 | |
| 引用本文： | 黄军容,彭良强,伊福廷,蒋毅坚,张菊芳,韩勇.3B1束线上LIGA掩模的设计研究[J].微纳电子技术,2003,40(7):147-150. |
| 作者姓名： | 黄军容 彭良强 伊福廷 蒋毅坚 张菊芳 韩勇 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院高能物理研究所,北京,100039;北京工业大学国家产学研激光技术中心,北京,100022 2. 中国科学院高能物理研究所,北京,100039 3. 北京工业大学国家产学研激光技术中心,北京,100022 |
| 基金项目： | 863计划(2002AA431150);中国科学院知识创新工程(U-516-5);北京市自然科学基金(3022005) |
| 摘 要： | BSRF中的381光束线与LIGA实验站过去使用的3W1光束线相比，其同步辐射X光光谱较软、光强较弱，但可实现专用光和兼用光两用。现在UGA实验站移到381光束线，为此必须进行新的LIGA掩模设计、制作。结合此研究目的，本文通过使用XOP和Origin两个软件进行设计、计算，分别得到了专用和兼用时381光束线在传输过程中的各级能谱图和传输、吸收数据，并针对这两种不同的用光情况分别设计、研究了两种不同组合的掩模：Au-PI组合和Au-Si组合。 |
| 关 键 词： | 3B1光束线 光刻工艺 LIGA掩模 设计 掩模 X射线 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0147-04 |
| 修稿时间： | 2003年5月15日 |
Design on X-ray masks for LIGA station in 3B1 beamline |
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