3B1束线上LIGA掩模的设计研究 |
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引用本文: | 黄军容,彭良强,伊福廷,蒋毅坚,张菊芳,韩勇. 3B1束线上LIGA掩模的设计研究[J]. 微纳电子技术, 2003, 40(7): 147-150 |
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作者姓名: | 黄军容 彭良强 伊福廷 蒋毅坚 张菊芳 韩勇 |
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作者单位: | 1. 中国科学院高能物理研究所,北京,100039;北京工业大学国家产学研激光技术中心,北京,100022 2. 中国科学院高能物理研究所,北京,100039 3. 北京工业大学国家产学研激光技术中心,北京,100022 |
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基金项目: | 863计划(2002AA431150);中国科学院知识创新工程(U-516-5);北京市自然科学基金(3022005) |
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摘 要: | BSRF中的381光束线与LIGA实验站过去使用的3W1光束线相比,其同步辐射X光光谱较软、光强较弱,但可实现专用光和兼用光两用。现在UGA实验站移到381光束线,为此必须进行新的LIGA掩模设计、制作。结合此研究目的,本文通过使用XOP和Origin两个软件进行设计、计算,分别得到了专用和兼用时381光束线在传输过程中的各级能谱图和传输、吸收数据,并针对这两种不同的用光情况分别设计、研究了两种不同组合的掩模:Au-PI组合和Au-Si组合。
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关 键 词: | 3B1光束线 光刻工艺 LIGA掩模 设计 掩模 X射线 |
文章编号: | 1671-4776(2003)07/08-0147-04 |
修稿时间: | 2003-05-15 |
Design on X-ray masks for LIGA station in 3B1 beamline |
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