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| 制备条件对Bi_2Te_3薄膜导电性能的影响 | |
| 作者单位： | ;1.河南工业大学理学院 |
| 摘 要： | 通过物理气相沉积法在石英基底上于不同条件下制备出五种Bi_2Te_3薄膜,并且利用扫描电子显微镜和XRD对各薄膜样品进行表征,最后运用四探针测试法测试样品导电性能。结果表明:制备温度和沉积时间对Bi_2Te_3薄膜的表面形貌和样品膜的导电性能影响很大;制备温度越高、沉积时间越长,所制薄膜的均匀度及致密度越高、导电性越好。 |
| 关 键 词： | Bi_2Te_3薄膜 物理气相沉积法 扫描电子显微镜 四探针测试法 制备温度 沉积时间 |
Influence of preparation conditions on conductivity of Bi_2Te_3 thin film |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |