表面处理对肖特基接触的影响

研究了不同的表面处理方法对器件肖特基特性的影响。实验结果表明,采用氧等离子体及体积比(HF:NH_4F)为1:7的BOE溶液对Al Ga N/Ga N异质结材料表面进行处理后,其肖特基接触特性比盐酸或者氨水溶液处理有了明显的改善。当栅压为–50 V时,栅反向漏电仅为3.8×10~(–5) A/mm,相比降低了1~2个数量级。另外,电容电压CV测试结果显示,经过BOE溶液处理表面,明显降低了器件表面态密度,达到1013cm~(–2)·e V~(–1)量级,表面态密度的降低,提高了肖特基势垒高度,降低了隧穿电流和表面漏电。

Effects of surface treatment on Schottky contact