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| 基于RGO-PEO复合薄膜的QCM湿度传感器研究 | |
| 作者单位： | ;1.电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室 |
| 摘 要： | 通过气喷工艺在石英晶体微天平(QCM)上制备了基于还原氧化石墨烯(RGO)与聚氧化乙烯(PEO)两种材料的复合湿敏薄膜,对环境湿度进行检测。所得纯PEO薄膜及RGO-PEO复合薄膜的表面形貌以及化学特性分别通过扫描电子显微镜(SEM)以及紫外-可见光谱进行表征。与基于纯PEO薄膜的湿度传感器相比,基于RGO-PEO复合湿敏薄膜的湿度传感器的动态响应大大提高,其灵敏度从16.3Hz/%RH提升到34.7Hz/%RH。此外,基于复合薄膜的湿度传感器拥有更快的响应/恢复时间,达到传感器吸附/脱附时总频移的63.2%所用时间分别为3s和4 s,而纯PEO薄膜为10 s和12 s;湿滞为1.21%RH,且有较好的长期稳定性。这项研究揭示了基于RGO-PEO复合薄膜的QCM湿度传感器在常温下检测环境湿度的发展潜力。 |
| 关 键 词： | 聚氧化乙烯(PEO) 还原氧化石墨烯(RGO) 湿度传感器 石英晶体微天平(QCM) 复合薄膜 湿滞 |
Research of QCM humidity sensor based on reduced graphene oxide-polyethylene oxide composite films |
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