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| 一种用于MEMS加速度传感器的低功耗低噪声全差分电路 | |
| 作者单位： | ;1.湘潭大学微电子科学与工程系 |
| 摘 要： | 设计了一种用于MEMS加速度传感器的低功耗低噪声的全差分电路,采用套筒式电路结构,增加了输出阻抗,减少了功耗和噪声。适当的共模反馈,提高了环路足够的补偿,避免了输出信号的失真,确保获得好的相位裕度以及一个快速的反应。在0.5μm CMOS工艺模型下,Cadence Spectre电路仿真的结果表明,电源电压为5 V,频率的范围是0.1 Hz到100 MHz时,得到电路的噪声大小是5.777 891μV·Hz~(–1/2),功耗大小为41.768 m W,版图的面积为1834.18μm×1446.87μm。这一电路可以用于地震监测以及石油勘探等领域。 |
| 关 键 词： | 低功耗 低噪声 全差分电路 套筒式 共模反馈 版图 |
A low power,low noise fully differential circuit for MEMS acceleration sensor |
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| Keywords: | |