污线法测量厚度的分析与比较

对用电子显微镜测量薄膜厚度的三种方法：双束衍射法、污斑法、污线法进行了实验及比较分析。结果表明：污线法操作简单、使用方便、定位准确、测量误差小，是一种较为理想的测厚方法。