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“上海先进”国内首条MEMS工艺平台实现量产
摘 要:
“上海先进”(ASMC/上海先进半导体制造股份有限公司)在MEMS(微机电系统)代工领域取得重大进展,在打造国内MEMS工艺生产平台的同时,首条MEMS工艺生产线已进入量产。“上海先进”MEMS生产线可以代工的器件包括:三轴陀螺仪、加速度计、生物MEMS芯片、光学MEMS、RFMEMS、微流体开关、压力传感器等,可被广泛应用于消费电子、医疗电子以及汽车电子等领域。
关 键 词:
MEMS工艺
生产平台
上海
国内
消费电子
微机电系统
半导体制造
压力传感器
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