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| 极紫外光刻光源系统光束指向稳定性研究 | |
| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激光与物质相互作用国家重点实验室,吉林长春130033;中国科学院大学,北京100049;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激光与物质相互作用国家重点实验室,吉林长春130033 |
| 基金项目： | 国家重点研发计划;国家自然科学基金;青年人才项目;国家重点实验室基金 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 激光光学 极紫外光刻 光束抖动 光束稳定 闭环控制 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
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