| 硅微机械音叉陀螺检测灵敏度与固有频率的关系 |
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| 引用本文： | 阮爱武 李万玉. 硅微机械音叉陀螺检测灵敏度与固有频率的关系[J]. 传感器与微系统, 1998, 17(1): 12-15 |
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| 作者姓名： | 阮爱武 李万玉 |
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| 作者单位： | 西北工业大学自动控制系(阮爱武)，西安交通大学电信学院(李万玉)，航空工业总公司六一八研究所(冯培德) |
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| 摘 要： | 检测灵敏度直接关系到陀螺性能的优劣。并尝试用静电力调节敏感模态谐振频率，以提高检测灵敏度。
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| 关 键 词： | 微机械音叉陀螺 谐振频率 灵敏度 |
Relationship Between Sensitivity of Silicon MicromechanicalTuning-Fork Gyroscopy and Its Natural Frequencies |
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| Abstract: | Micromechanical gyro performance is dependent on its sensitivity. How to tune the sense mode resonance frequency to improve the sensitivity are discussed. |
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| Keywords: | Micromechanical tuning-fork gyro Natural frequency Sensitivity |
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