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| MEMS中梯形变截面梁优化设计 | |
| 引用本文： | 孙江宏,鹿昆磊,易源霖,韩建男.MEMS中梯形变截面梁优化设计[J].机械强度,2019(4):871-875. |
| 作者姓名： | 孙江宏 鹿昆磊 易源霖 韩建男 |
| 作者单位： | 北京信息科技大学机电工程学院 |
| 摘 要： | MEMS器件结构设计影响传感器的性能。为了提高加速度计系统稳定性,选用梯形变截面梁减小应力集中,同时将检测方向刚度和非检测方向刚度差值最大,减小交叉灵敏度并提高工作稳定性;为使系统动态特性达到最佳,选用合适的阻尼比ξ,计算出梁检测方向理论刚度。建立梯形变截面梁的力学模型,得到梯形变截面梁刚度方程,并给出了梁的强度。梯形等截面梁和梯形变截面梁同等刚度条件下,变截面梁质量稍微增加,但危险截面处应力大幅下降。 |
| 关 键 词： | 梯形变截面梁 刚度 动态特性 稳定性 强度 |
THE OPTIMIZATION OF OVAL VARIABLE CROSS-SECTION BEAM IN MEMS |
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