无油真空泵在半导体生产中的应用

目前的半导体生产企业越来越多地用无油真空泵（干泵）来取代传统的旋片式真空泵（油泵），原因很简单，干泵的运行成本比油泵低得多，而且相对洁净，寿命长，在半导体生产中油泵的致命缺陷在于需使用昂贵的PFPE油。并且在CVD工艺，刻蚀，扩散等工艺上需经常做保养并换油，这使干泵无疑成为这些苛刻的半导体工艺的最佳选择。