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不用CBD附件在JEM—100CX(Ⅱ)型电镜上实现会聚束衍射的几种方法
作者姓名:黄颐  邹化民  王仁卉  戴明新  钟桂荣  刘达
作者单位:武汉大学分析测试中心,武汉大学物理系
摘    要:本文在前人工作的基础上。总结了在普遍透射电镜上实现会聚束电子衍射的几种方法,介绍了在JEM—100CX(Ⅱ)上操作的具体步聚,比较了各种方法的优缺点,并对有关理论和技术问题作了讨论。实现会聚束电子衍射(CBED)首要的条件是得到适当大的会聚角的电子束,并调节其会聚角的大小。在普通电镜上单用改变聚光镜电流及其光阑尺寸的方法无法做到这一点,必须利用强激励的物镜前场作为“第三聚光镜”来进一步会聚电子束,实行的方法有三种。一种是大幅度地增加物镜电流使象过焦,在成象模式直接得到CBED花样,称成象模式法。一种是较大幅度地降低试样高度,大大加强物镜前场部分,相对地减弱物镜的后场部分,并在衍射模式下得到CBED花样,称衍射模式降低试样高度法。照片就是用这种方法得到的不锈钢<111 带轴的CBED花样。第三种则是利用扫描附件工作时高度激励的物镜磁场会聚电子束,在微微衍射模式下得到

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