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| 日本EBV—6DA型镀膜机及其安装调试 | |
| 引用本文： | 李懋廉,杨厚民,连厚明,朱秀芳.日本EBV—6DA型镀膜机及其安装调试[J].光学精密工程,1983,0(3):59-66. |
| 作者姓名： | 李懋廉 杨厚民 连厚明 朱秀芳 |
| 摘 要： | 日本EBV-6DA型镀膜机是光学镀膜专用的现代化镀膜机。它采用了全自动程序控制的抽气系统;膜厚及速率自动控制系统;剩余气体质谱分析系统等先进技术和一系列安全保护系统。1979年我所进口了一台,经过一年多的装调已正常运转。本文概述此镀膜机的特点及其装调过程。 |
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