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| 硅上SiO_2膜的红外吸收光谱 | |
| 作者姓名： | 刘春荣 |
| 作者单位： | 安徽大学物理系 |
| 摘 要： | 本文用IR-450S型红外分光光度计测量了湿氧热氧化、开管水蒸汽热氧化和氧等离子体阳极氧化SiO_2膜在室温下的红外吸收光谱。实验表明,在2.5～50μm波段内,其红外吸收带的位置均靠近9.26μm、12.42μm和21.88μm。 |
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