微细加工用抗蚀剂

什么是抗蚀剂用于制造电子工业精密元器件的抗蚀剂叫微细加工用抗蚀剂。它是一种通过感应光和电子束等射线后改变对溶剂的溶解性的耐蚀刻性被膜材料。根据对溶剂的溶解性能,分正性(可溶)和负性(不溶)两种;对光敏感者称为光致抗蚀剂;对电子束敏感者称为电子束抗蚀剂;对X线敏感者称为X线抗蚀剂。