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涡轮分子泵的前级压强对压缩比测量的影响及其修正
引用本文:
储继国,徐守义,王福玖,郑建青.涡轮分子泵的前级压强对压缩比测量的影响及其修正[J].真空科学与技术学报,1984(1).
作者姓名:
储继国
徐守义
王福玖
郑建青
作者单位:
南京电子管厂,浙江大学,浙江大学,浙江大学
摘 要:
本文讨论了涡轮分子泵前级压强对压缩比测量的影响,并通过实验求得了升压法测量中不同提升量时的压缩比修正曲线。
本文献已被
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