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| 用于X射线干涉纳米测量的微动工作台的有限元分析 | |
| 引用本文： | 王林,李达成,曹芒.用于X射线干涉纳米测量的微动工作台的有限元分析[J].光电工程,1999(5). |
| 作者姓名： | 王林 李达成 曹芒 |
| 作者单位： | 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室!北京100084 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目!（59675079） |
| 摘 要： | Ｘ 射线干涉纳米测量系统要求分析器的俯仰角为１０－ ８ｒａｄ量级，侧滑角为１０－ ６ｒａｄ量级，为此设计了对称式高精度微动工作台，并利用有限元分析软件对设计的结构形式进行了分析，旨在找出影响其性能参数的主要因素，进而实现微动工作台的优化设计 |
| 关 键 词： | 微动工作台 纳米测量 有限元分析方法 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |