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| 走近MEMS技术(上) | |
| 作者姓名： | 缪昊 |
| 作者单位： | |
| 摘 要： | ＭＥＭＳ技术是近年来飞速发展的 一个研究领域。ＭＥＭＳ的英文 全称为Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ－ＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔｅｍ，即微电子机械系统，它主要是指由微机械加工方法加工的微传感器和微执行器，与微电子信号处理和控制电 路有机结合而成的自动化和智能化的微 系统（目前的尺寸为１ｕｍ～１ｍｍ，未 来也有可能达到ｎｍ级）。其中微传感器 获取信息，信号处理与控制电路处理信 息并作出决策，微执行器则实现机械动 作。 ＭＥＭＳ在许多方面具有传统机电 技术所不具备的优势，包括体积和能耗 大大减小、可实现许多全新的功… |
| 关 键 词： | MEMS 微电子机械系统 半导体 传感器 |
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