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| 容栅传感器移相原理浅析 | |
| 作者姓名： | 张增耀 骆家贤 |
| 作者单位： | 中国计量学院，中国计量学院，中国计量学院 |
| 摘 要： | 目前,国内一些量具厂家引进瑞士Trimos公司的散件组装的电子数显卡尺中使用了容栅传感器。该传感器所输出的信号是一移相信号。本文从该传感器的基本结构出发,对其输出的函数表达式进行了推导,并对其静态和动态特性进行了分析,以供广泛应用该项传感技术时参考。该传感器的48个发射极分成6组,每组各有8个发射极板e_i与定尺上反射极板F的一个节距W相对应。因各组中i相同的e_i与F的相对位置相同,故可将48个e_i和对应的6个F间的电容器简化为容量为c_1(x)～C_8(x)的8个电容器。每个电容器的电容量为实际的一对e_i和F所组成的电容器的容量的6倍。此外,发射极板e_i和接收极板J都位于动尺上,而反射极板F和屏蔽极板D位于定尺上。e_i上 |
| 关 键 词： | 容栅传感器 移相 测量元件 |
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