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| 采用蠕动式微进给机构的微细电火花加工装置 | |
| 引用本文： | 李勇,邹丽芸.采用蠕动式微进给机构的微细电火花加工装置[J].北京机电通讯,1998(25):18-20. |
| 作者姓名： | 李勇 邹丽芸 |
| 作者单位： | [1]清华大学 [2]北京市机电研究院 |
| 摘 要： | 介绍了一种采用蠕动式微进给机构的微细电火花加工装置，尝试微细火花加工的实用化和装置本身的微小型化。内容包括该装置机构的设计制作及初步的加工实验结果，特别是蠕动式微进给机构提高输出推力、适用于微细电火花加工的设计实现。 |
| 关 键 词： | 微型机械 电火花加工装置 微进给机构 微电子 |
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