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复合栅介质对AIGaN/GaN MISHEMT器件性能的影响
作者姓名:张佩佩  张辉  张晓东  于国浩  徐宁  宋亮  董志华  张宝顺
作者单位:杭州电子科技大学电子信息学院,杭州 310018;中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,江苏苏州 215123;中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,江苏苏州,215123;杭州电子科技大学电子信息学院,杭州,310018
基金项目:国家自然科学基金;江苏省重点研发计划资助项目;中国科学院重点实验室开放基金
摘    要:

关 键 词:AlGaN/GaN  复合栅介质  金属-绝缘层-半导体-高电子迁移率晶体管(MISHEMT)  阈值电压  界面态
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