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AlN成核层对近紫外LED外延生长的影响
作者姓名:李婷婷  周玉春  杨路华  李晓波  王静辉
作者单位:同辉电子科技股份有限公司,石家庄,050051;内蒙古自治区电子信息产品质量检验院,呼和浩特,010010;西安中为光电科技有限公司,西安,710065
基金项目:河北省创新能力提升计划项目
摘    要:

关 键 词:AlN成核层  近紫外LED  蓝宝石图形衬底(PSS)  腐蚀坑密度  外量子效率
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