新型双轴电容式微加速度传感器优化设计研究

将ＩＣ工艺与ＬＩＧＡ工艺结合，在硅基上用镍材料制作高精度电容式双轴微加速度传感器。根据力学原理并结合所采用的工艺特点，对该器件结构进行优化设计，获得了较好的器件性能参数。结果表明，器件的静态电容为２．６ｐＦ，量程达±５ｇ。该加速度传感器可同时测量Ｘ，Ｙ方向的加速度，最小可测量加速度为２μｇ／Ｈｚ。在开环条件下器件的共振频率为９００Ｈｚ，频带宽度在０２００Ｈｚ之间。芯片的几何尺寸约为４×４ｍｍ。