新型双轴电容式微加速度传感器优化设计研究 |
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作者姓名: | 刘泽文 刘理天 李志坚 |
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作者单位: | 清华大学微电子研究所 |
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摘 要: | 将IC工艺与LIGA工艺结合,在硅基上用镍材料制作高精度电容式双轴微加速度传感器。根据力学原理并结合所采用的工艺特点,对该器件结构进行优化设计,获得了较好的器件性能参数。结果表明,器件的静态电容为2.6pF,量程达±5g。该加速度传感器可同时测量X,Y方向的加速度,最小可测量加速度为2μg/Hz。在开环条件下器件的共振频率为900Hz,频带宽度在0200Hz之间。芯片的几何尺寸约为4×4mm。
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关 键 词: | 微加速度计 MEMS LIGA技术 IC工艺 |
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