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| 非化学计量碳化钛基新型功能梯度靶的研制 | |
| 摘 要： | 在各种工具上涂覆耐磨和耐蚀薄膜的实践中，用离子－等离子溅射复合阴极（靶）工艺制取的多组分和多相涂层正得到愈来愈多应用。自蔓延高温合成（ＣＢＣ）法可获得形形色色的陶瓷基、金属陶瓷基和金属间化合物基阴极谱。陶瓷阴极的一个本质缺陷是其导热性低，从而导致阴极材料过热和分层、形成不稳定的等离子，结果使喷涂工艺过程的生产率下降． 为克服上述缺点，曾试图合成具有较高热强度的功能梯度阴极靶（Ｍ）．这些阴极的外工作层可由ＴｉＣα基、ＴｉＢ基等陶瓷组成，而内层则可由金属如Ｔｉ组成．莫斯科钢铁和合金学院ＣＢＣ学术与教… |
| 关 键 词： | 功能梯度靶 研制 非化学计量 碳化钛基 工具 |
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