摘 要: | 在各种工具上涂覆耐磨和耐蚀薄膜的实践中,用离子-等离子溅射复合阴极(靶)工艺制取的多组分和多相涂层正得到愈来愈多应用。自蔓延高温合成(CBC)法可获得形形色色的陶瓷基、金属陶瓷基和金属间化合物基阴极谱。陶瓷阴极的一个本质缺陷是其导热性低,从而导致阴极材料过热和分层、形成不稳定的等离子,结果使喷涂工艺过程的生产率下降. 为克服上述缺点,曾试图合成具有较高热强度的功能梯度阴极靶(M).这些阴极的外工作层可由TiCα基、TiB基等陶瓷组成,而内层则可由金属如Ti组成.莫斯科钢铁和合金学院CBC学术与教…
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