| 无需精确调整被测镜的平面面形检测新方法 |
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| 引用本文： | 张培洁,赵维谦,杨帅,邱丽荣.无需精确调整被测镜的平面面形检测新方法[J].仪器仪表学报,2019,40(5):43-50. |
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| 作者姓名： | 张培洁 赵维谦 杨帅 邱丽荣 |
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| 作者单位： | 北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划（2017YFA0701203）、北京理工大学创新人才科技资助专项（2019CX01020）项目资助 |
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| 摘 要： | 现有的面形绝对检测法为了保证检测精度,在测量过程中需要耗费大量时间对被测镜进行精密的姿态调整。针对上述问题,提出了一种无需精密调整被测镜姿态的两平面面形检测方法。该方法需被测镜在3个位置进行测量:初始位置、旋转未知角度后的位置、横向平移未知距离后的位置。通过特征匹配求解被测镜实际旋转角度和平移量,通过迭代算法和拟合Zernike多项式恢复被测镜面形,并对被测镜面形中损失的角频率项进行补偿。该方法在保证精度的同时,避免了被测镜的精密调整,缩短了测量时间。实验表明,该方法与Vannoni的方法相比,二者检测结果的残差均方根(RMS)值为0. 004λ,测量中被测镜调整过程快速简单连贯,为光学元件的面形检测提供了一种新的技术途径。
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| 关 键 词： | 面形检测 旋转平移 特征匹配 迭代 Zernike多项式 |
Flat measurement method without high precision adjustment of tested flat |
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| Zhang Peijie,Zhao Weiqian,Yang Shuai,Qiu Lirong.Flat measurement method without high precision adjustment of tested flat[J].Chinese Journal of Scientific Instrument,2019,40(5):43-50. |
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| Authors: | Zhang Peijie Zhao Weiqian Yang Shuai Qiu Lirong |
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| Affiliation: | Beijing Key Laboratory for Precision Optoelectronic Measurement Instrument and Technology, School of Optics and Photonics, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Surface measurement rotation shift feature matching iteration Zernike polynomial |
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