| 极小气体流量测量技术研究 |
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| 引用本文： | 李得天,冯焱,成永军,张涤新,郭美如. 极小气体流量测量技术研究[J]. 真空科学与技术学报, 2011, 31(4): 435-439. DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2011.04.10 |
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| 作者姓名： | 李得天 冯焱 成永军 张涤新 郭美如 |
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| 作者单位： | 兰州物理研究所真空低温技术与物理重点实验室 兰州730000 |
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| 摘 要： | 介绍了固定流导法极小气体流量测量技术,利用流导值为10-9m3/s量级的精密小孔,通过在10-1~10 Pa范围内调节进气压力,实现了10-8~10-10Pa·m3/s的流量测量,合成标准不确定度为0.94%。利用流导比值为187.9的两个激光小孔,将固定流导法产生了流量分流为总流量的0.53%,实现了10-10~10-12Pa·m3/s范围内流量的测量,合成标准不确定度为1.2%。利用极小气体流量测量技术校准了小于10-8Pa·m3/s量级的真空漏孔,而且避免了四极质谱计的非线性引入的测量不确定度。与现有气体流量测量技术相比,提出的极小气体流量测量技术将测量下限延伸了4个数量级。
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| 关 键 词： | 极小气体流量 固定流导法 分流法 漏率校准 |
Measurement of Extremely Low Gas Flow |
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| Li Detian,Feng Yan,Cheng Yongjun,Zhang Dixin,Guo Meiru. Measurement of Extremely Low Gas Flow[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2011, 31(4): 435-439. DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2011.04.10 |
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| Authors: | Li Detian Feng Yan Cheng Yongjun Zhang Dixin Guo Meiru |
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| Affiliation: | Li Detian,Feng Yan,Cheng Yongjun,Zhang Dixin,Guo Meiru(Science and Technology on Vacuum &Cryogenics Technology and Physics Laboratory,Lanzhou Institute of Physics,Lanzhou 730000,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Extremely low range gas flow Constant conductance method Separated gas flow method Leak rate calibration |
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