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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
利用XPS测多层膜厚度
作者姓名:
顾晓东 蒋仕级
作者单位:
[1]新疆石油学院基础部 [2]云南大学
摘 要:
本文利用空心阴极离子镀膜技术制备了纯Cr膜(基底为硅片),利用XPS分析技术,得出在Cr膜表面存在一层氧化层,并测出了其厚度。
关 键 词:
X射线光电子谱 多层膜 镀铬
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