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| 利用XPS测多层膜厚度 | |
| 作者姓名： | 顾晓东 蒋仕级 |
| 作者单位： | [1]新疆石油学院基础部 [2]云南大学 |
| 摘 要： | 本文利用空心阴极离子镀膜技术制备了纯Ｃｒ膜（基底为硅片），利用ＸＰＳ分析技术，得出在Ｃｒ膜表面存在一层氧化层，并测出了其厚度。 |
| 关 键 词： | X射线光电子谱 多层膜 镀铬 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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