| 退火温度对LaNiO_3薄膜组织结构及电阻率的影响 |
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| 引用本文： | 冯治棋,戴培华,席博. 退火温度对LaNiO_3薄膜组织结构及电阻率的影响[J]. 有色金属(冶炼部分), 2013, 0(11): 46-49 |
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| 作者姓名： | 冯治棋 戴培华 席博 |
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| 作者单位： | 兰州理工大学材料学院;兰州理工大学甘肃省有色金属新材料省部共建国家重点实验室,兰州理工大学甘肃省有色金属新材料省部共建国家重点实验室,兰州理工大学甘肃省有色金属新材料省部共建国家重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目（21063008） |
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| 摘 要： | 采用射频磁控溅射法在Si(111)上制备出LaNiO3薄膜,并通过XRD、SEM等进行表征。结果表眀,LaNiO3薄膜在未退火状态下出现一定的择优取向,在空气中随着退火温度的增加,结晶性更好,出现钙钛矿型结构;900℃退火时出现杂相,LaNiO3发生分解导致薄膜表面形貌发生巨大变化。电阻率与结构中的氧空位有密切联系,退火温度增加,氧空位减少,电阻率减小。在700℃退火时可以得到1.59Ω·cm的最小电阻率。
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| 关 键 词： | LaNiO3 薄膜 退火温度 显微组织 电阻率 |
| 收稿时间： | 2013-05-14 |
| 修稿时间： | 2013-05-16 |
Effect of Annealing Temperature on Structure and Resistivity of LaNiO3 Film |
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| Feng Zhiqi,Dai Peihua and Xi Bo. Effect of Annealing Temperature on Structure and Resistivity of LaNiO3 Film[J]. Nonferrous Metals(Extractive Metallurgy), 2013, 0(11): 46-49 |
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| Authors: | Feng Zhiqi Dai Peihua Xi Bo |
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| Affiliation: | Department of Materials Science and Engineer,Lanzhou University of Technology;China State Key Laboratory of Gansu Advanced Non-Ferrous Materials,Lanzhou University of Technology;China,, |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | LaNiO3 film annealing temperature resistivity |
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