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选择性掺杂异质结晶体管
引用本文:魏策军,尹晓明,邵全远,陈振荣.选择性掺杂异质结晶体管[J].电子学报,1985(6).
作者姓名:魏策军  尹晓明  邵全远  陈振荣
作者单位:中国科学院半导体研究所 (魏策军,尹晓明,邵全远),中国科学院半导体研究所(陈振荣)
摘    要:利用国产MBE系统外延生长的调制掺杂材料,试制出选择性掺杂晶体管或高电子迁移率晶体管(HEMT)。准增强型器件的跨导为60~90mS/mm。有些器件发现有负阻,跨导达190mS/mm。

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