选择性掺杂异质结晶体管 |
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引用本文: | 魏策军,尹晓明,邵全远,陈振荣.选择性掺杂异质结晶体管[J].电子学报,1985(6). |
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作者姓名: | 魏策军 尹晓明 邵全远 陈振荣 |
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作者单位: | 中国科学院半导体研究所
(魏策军,尹晓明,邵全远),中国科学院半导体研究所(陈振荣) |
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摘 要: | 利用国产MBE系统外延生长的调制掺杂材料,试制出选择性掺杂晶体管或高电子迁移率晶体管(HEMT)。准增强型器件的跨导为60~90mS/mm。有些器件发现有负阻,跨导达190mS/mm。
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