| AlGaN/GaN型气敏传感器对于CO的响应研究 |
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| 引用本文： | 冯春,王晓亮,王新华,肖红领,王翠梅,胡国新,冉军学,王军喜. AlGaN/GaN型气敏传感器对于CO的响应研究[J]. 半导体学报, 2008, 29(7): 1387-1390 |
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| 作者姓名： | 冯春 王晓亮 王新华 肖红领 王翠梅 胡国新 冉军学 王军喜 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所，北京 100083;中国科学院半导体研究所，北京 100083;中国科学院半导体研究所，北京 100083;中国科学院半导体研究所，北京 100083;中国科学院半导体研究所，北京 100083;中国科学院半导体研究所，北京 100083;中国科学院半导体研究所，北京 100083;中国科学院半导体研究所，北京 100083 |
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| 基金项目： | 中国科学院知识创新工程 , 国家自然科学基金 , 国家重点基础研究发展规划 |
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| 摘 要： | 研究了基于AlGaN/GaN型结构的气敏传感器对于C0的传感性.制备出AlGaN/GaN型气敏传感器器件,并测试得到了器件在50℃时对于不同浓度(1%,9000,8000,5000和1000ppm)的C0的响应情况;测试并分析了1%CO在50和100℃下响应度的差异,计算了通人1%CO前后器件的肖特基势垒高度的变化和灵敏度随电压的分布关系.结果表明,器件的灵敏度强烈依赖于器件的工作温度和通入的气体浓度,随着温度和浓度的增加,器件的灵敏度呈单调增加,器件在100℃空气气氛中表现出了良好恢复性能.
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| 关 键 词： | AlGaN/GaN C0 传感器 |
| 文章编号： | 0253-4177(2008)07-1387-04 |
| 收稿时间： | 2007-12-04 |
| 修稿时间： | 2008-02-23 |
A Carbon Monoxide Gas Sensor Based on an AlGaN/GaN Structure |
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| Feng Chun,Wang Xiaoliang,Wang Xinhu,Xiao Hongling,Wang Cuimei,Hu Guoxin,Ran Junxue and Wang Junxi. A Carbon Monoxide Gas Sensor Based on an AlGaN/GaN Structure[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2008, 29(7): 1387-1390 |
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| Authors: | Feng Chun Wang Xiaoliang Wang Xinhu Xiao Hongling Wang Cuimei Hu Guoxin Ran Junxue Wang Junxi |
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| Affiliation: | Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083, China;Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083, China;Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083, China;Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083, China;Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083, China;Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083, China;Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083, China;Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | AlGaN/GaN CO gas sensors |
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