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| 不同升温热处理方式二氧化钒薄膜的制备与光学相变性能 | |
| 引用本文： | 梁继然,胡明,王晓东,阚强,李贵柯,陈弘达.不同升温热处理方式二氧化钒薄膜的制备与光学相变性能[J].红外与毫米波学报,2010,29(6):457-460. |
| 作者姓名： | 梁继然 胡明 王晓东 阚强 李贵柯 陈弘达 |
| 作者单位： | 1. 天津大学,电子信息工程学院,天津,300072;中国科学院半导体研究所,北京,100083 2. 天津大学,电子信息工程学院,天津,300072 3. 中国科学院半导体研究所,北京,100083 |
| 基金项目： | 国家863资助项目(编号：2008AA031401)；国家自然科学基金资助项目（编号：60771019）；天津市应用基础及前沿技术研究重点项目（编号：08JCZDJC17500） |
| 摘 要： | 采用双离子束溅射方法制备氧化钒薄膜,分别利用常规和快速两种升温方式对氧化钒薄膜进行热处理,利用傅里叶变换红外光谱技术对热处理后氧化钒薄膜的变温光学透射性能进行测试,并对5μm波长处透过率随温度的变化曲线进行相变特性分析.实验结果表明,经过常规和快速升温热处理后均获得了二氧化钒薄膜;快速升温热处理后得到的薄膜中二氧化钒晶粒较小,尺寸分布均匀;而常规升温热处理后的二氧化钒薄膜中晶粒尺寸分布较宽、常规和快速升温热处理后,氧化钒薄膜的光透过率均存在可逆突变特性,变化幅度均超过60%.相变性能分析结果表明,快速升温热处理获得的二氧化钒薄膜相变持续的温度宽度较大,光学相变温度为63.74℃,高于常规升温热处理的60.31℃. |
| 关 键 词： | 氧化钒薄膜 红外透射光谱 快速升温 |
| 收稿时间： | 2009/11/1 0:00:00 |
| 修稿时间： | 6/6/2010 12:00:00 AM |
Phase transition of vanadium oxide films annealied with different methods |
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| LIANG Ji-Ran,HU Ming,WANG Xiao-Dong,KAN Qiang,LI Gui-Ke and CHEN Hong-Da.Phase transition of vanadium oxide films annealied with different methods[J].Journal of Infrared and Millimeter Waves,2010,29(6):457-460. | |
| Authors: | LIANG Ji-Ran HU Ming WANG Xiao-Dong KAN Qiang LI Gui-Ke and CHEN Hong-Da |
| Abstract: | |
| Keywords: | vanadium dioxide thin film Infrared transmission spectrum rapid elevating temperatue |
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