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超大规模集成电路
引用本文:太田邦 ,清水京造 ,垂井康夫 ,李世兴.超大规模集成电路[J].微电子学,1980(4).
作者姓名:太田邦  清水京造  垂井康夫  李世兴
摘    要:在逝去的二十年间,随着集成电路技术的进展,以计算机为中心的许多系统的性能、可靠性、实用性亦大幅度地得到提高。所谓超大规模集成电路技术就是继之发展起来的一门新技术。其实况如图1所示:正在高速发展的其元件的微细加

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