| 硅基平面波导材料的制作 |
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| 引用本文： | 吴远大,张乐天,邢华,韦占雄,郑伟,刘国范,张玉书. 硅基平面波导材料的制作[J]. 功能材料与器件学报, 2000, 6(4): 432-435 |
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| 作者姓名： | 吴远大 张乐天 邢华 韦占雄 郑伟 刘国范 张玉书 |
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| 作者单位： | 吉林大学电子工程系光电子国家重点实验室,长春,130023 |
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| 摘 要： | 采用火争水解法（ＦＨＤ）在Ｓｉ基上淀ＳｉＯ２预制材料，然后在真空中／空气气氛中高温处理（１３８０℃），制得玻璃化的ＳｉＯ２膜材料；该材料膜厚适中（１０－３０μｍ）、平整度好、光滑透明，适合制作单模、多模列阵平面波导光栅。并利用ＸＲＤ、ＳＥＭ、台阶仪等仪器对ＳｉＯ２膜进行了测试分析。
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| 关 键 词： | 火焰水解法 硅基平面波导材料 波分复用技术 |
| 修稿时间： | 2000-07-28 |
Fabrication of planar waveguide material on silicon |
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| WU Yuan-da,ZHANG Le-tian,XIN Hua,WEI Zhan-xiong,ZHANG Wei,LIU Guo-fan,ZHANG Yu-shu. Fabrication of planar waveguide material on silicon[J]. Journal of Functional Materials and Devices, 2000, 6(4): 432-435 |
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| Authors: | WU Yuan-da ZHANG Le-tian XIN Hua WEI Zhan-xiong ZHANG Wei LIU Guo-fan ZHANG Yu-shu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Flame Hydrolysis Deposition (FHD) Waveguide Silica glass |
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