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| 真空微电子压力传感器阵列数据采集研究 | |
| 作者姓名： | 潘银松 温志渝 梁玉前 蒋子平 |
| 摘 要： | 阐述了真空微电子压力传感器阵列的工作原理和工作波形.设计了一种供真空微电子压力传感器阵列器件使用的12位A/D数据采集系统.系统采用微机为主控单元,地址发生和时序控制部分采用可编程逻辑器件(CPLD)实现,提高了设计的灵活性,简化了电路板设计.利用该采集系统对压力传感器阵列进行了数据采集,最后给出了实验结果. |
| 关 键 词： | 真空微电子 MEMS 压力传感器阵列 数据采集 |
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