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| φ76.2mm重掺砷硅单晶的研制 | |
| 作者姓名： | 葛海熊 |
| 作者单位： | 上海第二冶炼厂 |
| 摘 要： | 本文就如何在TDR-40A单晶炉上拉制出φ76.2mm重掺砷硅单晶作了介绍,提供了试验装置,给出了工艺条件及试验结果,并对重掺砷和重掺锑晶体的异同点进行了初步讨论。重掺锑硅单晶比重掺砷单晶需要更大的(dT/dz)_L,重掺砷硅单晶与重掺锑硅单晶同样有(111)小平面存在,但没有杂质析出现象。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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