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| 三光束干涉压力计的研究 | |
| 引用本文： | 吴朝霞,李志全,唐旭辉.三光束干涉压力计的研究[J].仪表技术与传感器,1998(1). |
| 作者姓名： | 吴朝霞 李志全 唐旭辉 |
| 作者单位： | 燕山大学 |
| 摘 要： | 本文介绍了为解决测压仪表的高精度、完全电绝缘测量等问题而研制的一种三光束干涉压力计。阐述了其工作原理、系统组成及测试结果。 |
| 关 键 词： | 三光束干涉仪 压力计 弹性膜片 |
Study on Three Beams Interfering Pressure Gauge |
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| Abstract: | |
| Keywords: | Three Beams Interferometer Pressure Guage Flexure Diaphragm |
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