| 一种用有限元工具仿真水平轴微陀螺解耦性能的方法 |
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| 引用本文： | 吕博,刘雪松,崔健,杨振川,闫桂珍. 一种用有限元工具仿真水平轴微陀螺解耦性能的方法[J]. 传感技术学报, 2008, 21(2): 255-257 |
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| 作者姓名： | 吕博 刘雪松 崔健 杨振川 闫桂珍 |
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| 作者单位： | 北京大学微电子系,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,北京100871;北京大学微电子系,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,北京100871;北京大学微电子系,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,北京100871;北京大学微电子系,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,北京100871;北京大学微电子系,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,北京100871 |
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| 摘 要： | 提出了一种用有限元工具ANSYSTM的谐响应分析功能仿真陀螺在模态频率下位移的方法.利用这种方法,仿真得到了陀螺模态间的机械耦合,并通过测试对仿真结果进行了验证.这种方法还能仿真由于工艺误差造成的结构不对称性对陀螺性能的影响,并证明了双解耦性能有利于抑制这种不对称带来的误差.
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| 关 键 词： | 微陀螺 机械耦合 有限元工具 谐响应分析 |
| 文章编号： | 1004-1699(2008)02-0255-03 |
| 修稿时间： | 2007-09-30 |
A Method of Simulating the Decoupling Property of Lateral Axis Micro Gyroscope Using Finite Element Tool |
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| Lu Bo,Liu Xuesong,Cui,Jian,Yang Zhenchuan,Yan Guizhen. A Method of Simulating the Decoupling Property of Lateral Axis Micro Gyroscope Using Finite Element Tool[J]. Journal of Transduction Technology, 2008, 21(2): 255-257 |
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| Authors: | Lu Bo Liu Xuesong Cui Jian Yang Zhenchuan Yan Guizhen |
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| Affiliation: | Institute of Microelectronics, Peking University |
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| Abstract: | In this work, a new method of using the harmonic analysis of ANSYSTM, a kind of finite element tool, is proposed. It can simulate the displacements of gyroscope under the work mode frequencies. Using this method, the mechanical coupling properties between the work modes are simulated, which are also verified by test results. This method can also simulate the performance of gyroscope in the presence of asymmetrical imperfections, which is caused during the fabrication process. Simulated results also show that the doubly decoupled property helps suppress the asymmetrical imperfections. |
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| Keywords: | gyroscope mechanical coupling finite element tool harmonic analysis |
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