| 改进的Sol-gel法制备Ba0.6 Sr0.4 TiO3厚膜 |
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| 引用本文： | 张红芳,张良莹,姚熹. 改进的Sol-gel法制备Ba0.6 Sr0.4 TiO3厚膜[J]. 材料导报, 2005, 19(5): 102-104,96 |
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| 作者姓名： | 张红芳 张良莹 姚熹 |
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| 作者单位： | 上海同济大学功能材料研究所,上海,200092 |
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| 摘 要： | 采用Sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si和Al2O3基片上制备厚度为2～14μm的Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)铁电厚膜材料.经高能球磨细化和表面改性后的BST陶瓷纳米粉体分散到BST溶胶中,通过甩胶法,形成0-3型BST厚膜材料.XRD图谱显示,BST呈现纯钙钛矿相结构;SEM照片显示,BST厚膜均匀致密、无裂纹;介电性能测试结果表明,当测试频率为1kHz,温度为25℃时,介电常数为620,介电损耗为0.6.
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| 关 键 词： | BST 厚膜 微电子机械系统(MEMS) 溶胶-凝胶 |
A Modified Sol-gel Coating Method for BST Thick Films |
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| Zhang Hongfang,ZHANG Liangying,YAO Xi. A Modified Sol-gel Coating Method for BST Thick Films[J]. Materials Review, 2005, 19(5): 102-104,96 |
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| Authors: | Zhang Hongfang ZHANG Liangying YAO Xi |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | BST thick film MEMS sol-gel |
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