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| 氧化物半导体甲烷敏感元件研究进展 | |
| 引用本文： | 丁海东. 氧化物半导体甲烷敏感元件研究进展[J]. 传感器世界, 2005, 11(6): 6-9 |
| 作者姓名： | 丁海东 |
| 作者单位： | 中国矿业大学材料科学与工程学院 |
| 摘 要： | 介绍了氧化物半导体甲烷气体敏感元件的工作机理,论述了改善氧化物半导体甲烷气敏传感器性能的几种途径.采用加入催化剂、控制材料的微细结构、利用新制备工艺和表面修饰等新方法、新技术可提高氧化物半导体甲烷气敏元件的灵敏度、选择性、响应和恢复特性、稳定性. |
| 关 键 词： | 甲烷 传感器 半导体氧化物 |
| 文章编号： | 1006-883X(2005)06-0006-004 |
The Evolvement Of Study On Semiconductor Methane Sensing Element |
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