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| 大型钛薄膜吸附泵的抽速测试装置的实验 | |
| 引用本文： | 李高云,高庆达,蒋迪奎,许学富,李生发.大型钛薄膜吸附泵的抽速测试装置的实验[J].真空科学与技术学报,1985(6). |
| 作者姓名： | 李高云 高庆达 蒋迪奎 许学富 李生发 |
| 作者单位： | 中国科学院合肥等离子体物理研究所，中国科学院合肥等离子体物理研究所，中国科学院合肥等离子体物理研究所，中国科学院合肥等离子体物理研究所，中国科学院合肥等离子体物理研究所 |
| 摘 要： | 本文叙述了一种大型钛薄膜吸附泵的抽速测试方法,介绍了实验原理及测试装置。实验表明,此方法用于测试薄膜吸附泵的抽速是可行的,测得的数据是可靠的。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |