低压齐纳二极管的研制

本文论证了面结型低压齐纳二极管的击穿机理为隧道击穿，提出了一种新型的面结型低压齐纳二极管的结构，以及相应于此种结构的工艺流程，论述了衬底材料的选择等问题，实验结果表明，此种结构是成功的，做出符合用户要求的低压齐纳二极管。