| 氧化铝陶瓷基无线无源压力传感器的高温性能研究 |
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| 引用本文： | 任重,蔡 婷,谭秋林,李 晨,郑庭丽,熊继军. 氧化铝陶瓷基无线无源压力传感器的高温性能研究[J]. 传感技术学报, 2014, 27(9) |
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| 作者姓名： | 任重 蔡 婷 谭秋林 李 晨 郑庭丽 熊继军 |
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| 作者单位： | 1. 中北大学电子测试技术重点实验室，太原030051; 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室，太原030051
2. 中北大学电子测试技术重点实验室，太原030051; 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室，太原030051; 重庆大学新型微纳器件与系统技术国家重点学科实验室，重庆400044 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重点项目，访问学者基金项目，优秀青年学术带头人支持计划项目 |
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| 摘 要： | 利用高温烧结陶瓷技术制备了一种基于氧化铝陶瓷的LC谐振式无线无源压力传感器,并通过合理地设计圆柱螺旋天线以及隔热结构,实现了该传感器在高温环境中的无线耦合测试。研究了传感器在不同温度下的阻抗频率特性,分析并探讨了传感器的高温性能。测试结果表明,在29℃(室温)至700℃的温度范围内,测试天线端的最高瞬时温度为188.4℃,保证了传感器高温测试的可靠性。谐振频率对温度的平均变化量为1.314 kHz/℃,两次重复性测试的相对变化量为3.81%,重复性较好。该压力传感器可应用于高温恶劣环境下的压力测试,其高温性能的研究为压力信号的准确读取奠定了良好的基础。
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| 关 键 词： | 压力传感器 无线无源 高温 零点温漂 谐振频率 |
High-temperature performance of wireless passive pressure sensor based on alumina ceramics |
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| REN Zhong,CAI Ting,TAN Qiulin,LI Chen,Zheng Tingli,XIONG Jijun. High-temperature performance of wireless passive pressure sensor based on alumina ceramics[J]. Journal of Transduction Technology, 2014, 27(9) |
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| Authors: | REN Zhong CAI Ting TAN Qiulin LI Chen Zheng Tingli XIONG Jijun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | pressure sensor wireless passive high temperature zero drift resonant frequency EEACC:7230 |
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