| 高精度低噪声MEMS陀螺仪电容读出电路 |
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| 引用本文： | 唐兴刚,龙善丽,刘艳.高精度低噪声MEMS陀螺仪电容读出电路[J].传感技术学报,2014,27(9). |
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| 作者姓名： | 唐兴刚 龙善丽 刘艳 |
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| 作者单位： | 北方通用电子集团有限公司,江苏 苏州,215163 |
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| 基金项目： | 项目来源:(2014ZX01021101-002) |
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| 摘 要： | 在研究电容式微机械陀螺信号通路工作原理的基础上,分析了影响电容式读出电路精度的各种非理想因素并进行了量化计算,设计了一款低噪声电容读出电路。该芯片采用高频调制原理实现了低频噪声的转移,同时提出了一款具有高电源抑制比的低噪声运算放大器,采用连续时间的电容读出方法研制了微机械陀螺ASIC电路。该芯片采用0.5μm CMOS工艺,芯片面积为3.5mm×3.4 mm,测试结果表明,该单片ASIC的输出级噪底为-117 dB,当陀螺仪量程为±300°/s时,分辨率可以达到0.00035°/s。
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| 关 键 词： | MEMS陀螺仪 低噪声 解调 电荷放大器 读出电路 |
A high precision low noise capacitance sensing circuit used in mems gyroscope |
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| TANG Xinggang,LONG Shanli,LIU Yan.A high precision low noise capacitance sensing circuit used in mems gyroscope[J].Journal of Transduction Technology,2014,27(9). |
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| Authors: | TANG Xinggang LONG Shanli LIU Yan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS gyroscope low-noise demodulation charge amplifier readout circuit EEACC:1190 1205 7320E |
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