基于管式PECVD设备石墨舟传送带粘链装置的设计及应用 |
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作者姓名: | 赵彩霞 张云鹏 张波 杨飞飞 |
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作者单位: | 山西潞安太阳能科技有限责任公司,山西 长治 046000 |
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基金项目: | 山西省重点研发计划项目;山西省重点研发计划项目 |
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摘 要: | 光伏太阳能PECVD设备是通过石墨舟做为载体进行工艺的,目前存在从炉管工艺完后石墨舟内的碎片掉落到传送带上,将传送带烫坏的问题.如果用手工的方法进行粘结,维修时间过长,使用的周期很短.针对此问题,设计并应用了PECVD设备石墨舟传送带粘链装置,解决了石墨舟传送带断裂的问题,提高了传送带的使用寿命,缩短了维修时间,节约了...
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关 键 词: | 石墨舟 传送带 粘链装置 |
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