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| 简讯 | |
| 摘 要： | J901001 新型电热透明炉机电部第44研究所在研制普通电热透明炉的基础上,又成功地研制出符合特殊工艺要求的新型电热透明炉。该炉具有温区多、温差大、过渡区短、精度高的特点。该炉采用两台“DWK-703精密温度控制装置”控温,温控精度达±1℃。该炉结构和炉内温度分布分别示于图1和图2。该电热透明炉很适用于Ⅱ-Ⅴ族和Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体的各种外延、扩散、合金和退火等。目前,该新型电热透明炉经用户试 |
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