| 一种硅微谐振式压力传感器的敏感膜片设计 |
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| 引用本文： | 任森,苑伟政,邓进军.一种硅微谐振式压力传感器的敏感膜片设计[J].传感技术学报,2006,19(5):1855-1858. |
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| 作者姓名： | 任森 苑伟政 邓进军 |
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| 作者单位： | 西北工业大学微/纳米系统实验室,西安,710072 |
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| 摘 要： | 根据正方形膜片的变形和应力分布情况,提出了一种硅微谐振式压力传感器敏感膜片的设计方法,设计了两种正方形间接连接式压力敏感膜片.在相同的膜片面积下,新膜片与原有矩形间接连接式压力敏感膜片性能相近,为内部谐振器的多样化提供了基础.最后,就压力敏感膜片的工艺设计进行了探讨,认为采用正方形凸角补偿结构的〈110〉硅岛和采用边长补偿的〈100〉硅岛最适合间接连接式压力敏感膜片.
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| 关 键 词： | 谐振式压力传感器 敏感膜片 硅岛 凸角补偿 |
| 文章编号： | 1004-1699(2006)05-1855-04 |
| 修稿时间： | 2006年7月1日 |
A Diaphragm Design of Microfabircated Resonant Pressure Sensor |
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| Ren Sen,Yuan Weizheng,Deng Jinjun.A Diaphragm Design of Microfabircated Resonant Pressure Sensor[J].Journal of Transduction Technology,2006,19(5):1855-1858. |
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| Authors: | Ren Sen Yuan Weizheng Deng Jinjun |
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| Affiliation: | MEMS/NEMS Laboratory, Northwestern Polytechnical University, Xi''an, 710072, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | resonant pressure sensor diaphragm silicon island convex corner compensation |
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