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| 纳米二氧化钛薄膜制备研究进展 | |
| 引用本文： | 成晓玲,胡社军,匡同春,曾鹏,谢光荣,汝强. 纳米二氧化钛薄膜制备研究进展[J]. 表面技术, 2005, 34(4): 1-5,8 |
| 作者姓名： | 成晓玲 胡社军 匡同春 曾鹏 谢光荣 汝强 |
| 作者单位： | 1. 广东工业大学分析测试中心;广东工业大学材料与能源学院,广东,广州,510090 2. 华南师范大学物理与电信工程学院,广东,广州,510631 3. 华南理工大学分析测试中心,广东,广州,510640 4. 广东工业大学材料与能源学院,广东,广州,510090 |
| 基金项目： | 广东省教育厅自然科学基金 |
| 摘 要： | 根据近年来国内外TiO2功能薄膜的研究现状,对化学气相沉积法、水解-沉淀法、液相沉积法、溶胶-凝胶法、溅射法、离子束辅助沉积法等化学和物理制备方法的研究进展进行了综述,并对其优缺点进行了比较和评述. |
| 关 键 词： | TiO2薄膜 制备 研究进展 纳米二氧化钛 薄膜制备 研究进展 Thin Films Nano Preparation Progress 比较 物理制备方法 液相沉积法 离子束辅助 溅射法 凝胶法 溶胶 沉淀法 气相沉积法 化学 现状 功能薄膜 |
| 文章编号： | 1001-3660（2005）04-0001-05 |
| 收稿时间： | 2005-03-02 |
| 修稿时间： | 2005-03-02 |
Research Progress in Preparation of the Nano TiO2 Thin Films |
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| CHENG Xiao-ling,HU She-jun,KUANG Tong-chun,ZENG Peng,XIE Guang-rong,RU Qiang. Research Progress in Preparation of the Nano TiO2 Thin Films[J]. Surface Technology, 2005, 34(4): 1-5,8 | |
| Authors: | CHENG Xiao-ling HU She-jun KUANG Tong-chun ZENG Peng XIE Guang-rong RU Qiang |
| Abstract: | Based on the current study state of TiO2 functional thin film, the preparation methods of titania thin films including chemical vapor deposition, hydrolysis-precipitation, liquid phase deposition, sol-gel dip-coating, sputtering, ion beam enhanced deposition were reviewed. The advantages and disadvantages of different methods were briefly described. |
| Keywords: | Titania thin film Preparation Research progress |
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